Preview

Российские нанотехнологии

Расширенный поиск

ФОРМИРОВАНИЕ ПЬЕЗО- И ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТРИЦ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ НАНОПРОФИЛИРОВАННОГО ОКСИДА КРЕМНИЯ

Полный текст:

Аннотация

В настоящей работе продемонстрирован технологический подход к формированию массива пьезо- и пироэлектрических структур с использованием матрицы нанопрофилированного оксида кремния. Для формирования матрицы предложено использовать метод плазменного травления через твердую маску пористого анодного оксида алюминия. В порах матрицы были сформированы наночастицы сегнетоэлектрического сополимера винилиденфторида с трифторэтиленом. Приведены результаты измерений пьезоэлектрического и пироэлектрического откликов этой структуры.

Об авторах

А. Н. Белов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Россия
124498, Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1


А. А. Голишников
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Россия
124498, Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1


Г. Н. Пестов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Россия
124498, Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1


А. В. Солнышкин
Тверской государственный университет
Россия
170100, Тверь, ул. Желябова, 33


В. И. Шевяков
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Россия
124498, Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1


Список литературы

1. Badano L.P. The clinical benefits of adding a third dimension to assess the left ventricle with echocardiography // Scientifica. 2014. V. 2014. Art. № 897431 (18 p).

2. Solnyshkin, A.V., Morsakov, I.M., Bogomolov, A.A., Belov A.N., Vorobiev M.I., Shevyakov V.I., Silibin, M.V., Shvartsman, V.V. Dynamic pyroelectric response of composite based on ferroelectric copolymer of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) and ferroelectric ceramics of barium lead zirconate titanate // // Appl. Phys. A. 2015. V. 121. P. 311–316.

3. Hurrell A., Duck F. A two-dimensional hydrophone array using piezoelectric PVDF // IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr. Freq. Control. 2000. V. 47. № 6. P. 1345–1353.

4. Hammes P.C.A., Regtlen P.P.L., Sarro P.M. A pyroelectric matrix sensor using PVDF on silicon containing FET readout circuitry // Sens. Actuators A. 1993. V. 37–38. P. 290–295.

5. Белов А.Н., Голишников А.А., Кислицин М.В., Перевалов А.А., Солнышкин А.В., Шевяков В.И. Формирование массива мемристорных структур с использованием самоорганизующейся матрицы пористого анодного оксида алюминия // Российские нанотехнологии. 2018. Т. 13. № 1–2. С. 36–40. (Belov A.N., Golishnikov A.A., Kislitsin M.V., Perevalov A.A., Solnyshkin A.V., Shevyakov V.I. Formation of an array of memristor structures using a self-assembly matrix of porous anodic aluminum oxide // Nanotechnologies in Russia. 2018. V. 13. № 1–2. P. 34–37.)

6. Bauer S., Bauer F. Piezoelectric polymers and their applications / In: Piezoelectricity. Springer Series in Materials Science. 2008. V. 114. Springer, Berlin, Heidelberg. P. 157–177.

7. Hwang S.K., Bae I., Kim R.H., Park C. Flexible non-volatile ferroelectric polymer memory with gate-controlled multilevel operation // Adv. Mater. 2012. V. 24. P. 5910–5914.

8. Tseng H.-J., Tian W.-C., Wu. W.-J. P(VDF-TrFE) polymer-based thin films deposited on stainless steel substrates treated using water dissociation for flexible tactile sensor development // Sensors. 2013. V. 13. P. 14777–14796.

9. Tashiro K. Ferroelectric polymers: chemistry, physics, and applications // ed. Nalwa H.S., Marcel Dekker, Inc. New York. 1995. P. 63–181.

10. Solnyshkin A.V., Kiselev D.A., Bogomolov A.A., Kholkin A.L., Künstler W., Gerhard R., Atomic force microscopy study of ferroelectric films of P(VDF-TrFE) copolymer and composites based on it // J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron Neutron Techniques. 2008. V. 2. P. 692–695.

11. Park Y.J., Kang S.J., Parka C., Kim K.J., Lee H.S., Lee M.S., Chung U-I., Park I.J. Irreversible extinction of ferroelectric polarization in P(VDF-TrFE) thin films upon melting and recrystallization // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 88. Art. № 242908 (3 p.).

12. Belov A.N., Kislova I.L., Loktev D.V., Redichev E.N., Stroganov A.A., Solnyshkin A.V. Electrical characterization of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) nanocrystals embedded in porous alumina matrix // J. Adv. Dielectr. 2018. V. 8. Art. № 1820001 (5 p.).

13. Cauda V., Stassi S., Bejtka K., Canavese G. Nanoconfinement: an effective way to enhance PVDF piezoelectric properties // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2013. V. 5. P. 6430–6437.

14. Gavrilov S.A., Belov A.N., Zheleznyakova A.V., Barabanov D.Yu., Shevyakov V.I., Vishnikin E.V., Khlynov A.V. Factors effected on nanoporous anodic alumina ordering // Proc. SPIE. 2006. V. 6260. Art. № 626011 (8 p.).

15. Belov A.N. Local etching of silicon using a solid mask from porous aluminum oxide // Semiconductors. 2008. V. 42. № 13. P. 1519–1521.

16. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Назаркин М.Ю., Шевяков В.И., Лемешко С.В. Особенности проведения измерений в сканирующей электропроводящей микроскопии // Известия вузов. Электроника. 2011. № 3. С. 75–81. (Belov A.N., Gavrilov S.A., Nazarkin M.Yu., Shevyakov V.I., Lemeshko S.V. Peculiarities of measurements in scanning electrical-conductivity microscopy // Russian Microelectronics. 2012. V. 41. P 431–436.)

17. Pavlenko V.I., Cherkashina N.I., Demkina L.N. Influence of hydrothermal treatment on crystalline form of SiO2 synthesized by sol-gel method // IOP Conf. Series: Mater. Sci. Eng. 2018. V. 327. Art. № 052026 (5 p.).


Просмотров: 59


ISSN 1992-7223 (Print)